新疆维吾尔自治半导体XRD检测-半导体XRD测试电话

半导体xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

广角xrd和小角xrd的区别

xrd是x射线衍射仪的简称。其基本原理是:当x射线照射所测物质晶体，相应晶面会产生衍射强度。随着发射x射线的转轴移动，不同角度的不同晶面会被完全扫描出来。从而根据布拉格方程2d sinθ=nλ，呈现出图谱。广角xrd一般指3°~80°，甚至是更高的度数，一般用来判断某种材料的物相，即是什么物质。而小角xrd一般是指0°~3°的测试范围，在该范围内对应的晶面一般是层间，即00x晶面，一般用来比较改性物质前后该晶面的层间距变化。

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半导体xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，新疆维吾尔自治半导体xrd检测，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

由于材料存在织构，其sin2ψ曲线呈震荡型，选取的ψ角范围不同，得到的拟合直线的斜率和残余应力存在明显差异。在未知材料是否存在织构、晶粒是否粗大的情况下，不可选取较小的ψ范围和较少的ψ站数进行残余应力测定，否则会带来较大的测量误差。

对于sin2ψ曲线呈震荡型的织构材料，采用线性拟合未必是合理的，实际测量过程中，人们通常采用线性拟合的方式对这种震荡和测量误差引起的波动进行处理。关于ψ的范围，大达45°也未必合理，如果可以忽略穿透---的影响，采用的ψ角会更有利于获得较为正确的结果。

对于粗晶粒材料或存在织构的材料而言，尽量扩大ψ角的设置范围，可以通过±ψ角的测量来消除ε-sin2ψ非线性分布的影响。对于小二乘法拟合回归直线而言，若自变量的间距越大(ψ范围越大)，测量的数据越多(ψ站数越多)，则拟合所得到的直线的准确度越高，测试得到的数值就越---。也可以通过增加x射线的照射面积，或是采用摆动法增加参与衍射晶粒的数量来提高测试精度。